二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1-H #293641260 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1-H（F1-H）是一種用於快速加工半導體晶片的高性能蝕刻器/asher。它能夠在高達600°C的溫度下蝕刻和灰化晶片，並有一個雙供氣設備來支持所有三種主要半導體材料的蝕刻。該F1-H還配備了高分辨率的桌面圖像/濾鏡和數字圖像處理系統，以及先進的過程控制系統。該F1-H具有改進的設計，具有堅固的鋁基真空室，並能夠進行蝕刻和灰化與相同的工藝和腔室。這允許為生產復雜的VLSI電路制造緊密的線寬和公差水平。此外,使用F1-H專用控制臺終端可以輕松設置和維護過程控制。F1-H還配備了先進的腔室冷卻系統，在加工過程中保持腔室溫度穩定，消除工件上的熱應力。此外，該裝置的氣體輸送裝置能夠對多達六個獨立的氣體通道進行精確的氣體控制，從而能夠精確控制蝕刻和灰化參數。該F1-H還設有晶片清潔機，可配置為使用溫和的清潔法，以減少損壞細膩晶片的可能性。該F1-H的加工時間僅為30分鐘,加上出色的蝕刻和灰化能力,可提高吞吐量和制造效率。此外，該設備的可編程控制器允許用戶存儲和召回流程配方，並且與幾個SEMI標準軟件程序兼容。總而言之，F1-H是一種可靠、高性能的蝕刻器/asher，適用於多層半導體元件的大批量生產。