二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1-H #9268382 待售
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ID: 9268382
晶圓大小: 12"
優質的: 2003
Nitride furnace, 12"
Gas process: DCS-SiN and ALD High-K on LPCVD
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1-H是一種用於微電子器件制造的精密蝕刻器/asher。它是一種超高精度蝕刻工藝，結合了業界領先的蝕刻性能，加上充足的等離子體和排氣能力，導致了很高的均勻性和非常低的蝕刻高度。這是通過利用行星磁控管實現的，該磁控管允許均勻的蝕刻高度，以及控制陽極電壓的專有算法。整個蝕刻裝置旨在最大限度地減少顆粒生成，提高工藝質量。TEL Formula-1-H利用先進的成像技術來實現超高精度的過程。這種成像技術識別薄膜圖樣，並以高精度和精確度進行蝕刻。除了蝕刻材料外，TOKYO ELECTRON FORMUS1H可以用於純蝕刻以及高長寬比蝕刻和鍍層。這使得它適合廣泛的應用。通過TEL/TOKYO ELECTRON FORMULA 1H實現的高速蝕刻是基於高精度蝕刻工藝和等離子體陽極電壓調節技術的結合。這種高速蝕刻使得在短時間內實現超精密蝕刻成為可能，同時避免對基材或周圍部件造成任何損壞。高速蝕刻還提高了蝕刻高度的均勻性，實現了高質量、高精度的精加工。蝕刻過程由多頻原位自動監控設備監控，提供了非常穩定的蝕刻過程和精確的蝕刻條件。此外，自動濃度控制系統確保了過程的正確和一致調整，以保持最佳蝕刻條件，從而實現可靠和可重復的結果。最後,將所有這些功能合並到一個單元中以簡化生產過程。此外，這臺機器還被設計成靈活，容易針對特定的應用和需求進行定制。這樣可以確保Formula-1-H將最新技術與高效的生產過程相結合。
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