二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293625497 待售
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ID: 293625497
優質的: 2005
Diffusion furnace
Control system
Heater temperature: 600°C-900°C
Load port
FIMS
Wafer transfer
Boat elevator / Seal cap rotation
Auto shutter
Heater model
N2 Load lock
Boat operation
Process: LPCVD
Si SEMI STD-Notch, 12"
Furnace temperature controller: M780
HTR
Power box
Carrier transfer
Mechanical driver
Exhaust box
Front and rear upper cover
Final valve box
Gas flow chart
O2 Analyzer
Hard Disk Drive (HDD)
Does not include HCT
User interface:
MMI and gas flowchart: Gas box and front operation panel installed
Pressure display Unit: Mpa / Torr
Carrier type: FOUP / 25slots SEMI STD
Fork meterial: Al203 and PEEK
W/T Type: 1+4 Edge grip
16-Carrier stage capacity
Wafer notch aligner
RCU
UPS
Power distribution system:
3-Phase connection type: Star connection
Single-Phase connection: Grounded
Single-Phase voltage
Gas distribution system:
FUJIKIN Integrated Gas System (IGS)
IGS Final filter, regulator: MFC Z500 Type
MKS Capacitance manometer vacuum gage - press monitor (133 Kpa)
Power supply: 400 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H是一個單室、計算機控制的蝕刻器/asher。它旨在提供在微細加工和半導體應用中蝕刻和灰化過程的高精度結果。設備配備了多種選擇和綜合功能，以確保過程的準確性和可重復性。TEL Formula-1S-H的主要組成部分是蝕刻/asching室。由不銹鋼建造，最大容量600升。室內引入源氣體，保持真空氣氛，進行精密蝕刻和灰化處理。室內溫度也通過精確的電子溫度控制器調節。溫度的精確控制確保了過程的精確結果和可重復性。該系統還提供了幾個可選的附件來增強流程。它可以配備冷水機，以防止交叉汙染，並提供對過程的精確控制。為了獲得更好的分辨率,可以在單元中添加輔助壓板,以便以更高的分辨率精確蝕刻。翻轉板也可用於精確的垂直蝕刻。TOKYO ELECTRON Formula-1S-H有幾個優點：使用簡單，提供精確的結果；它用途廣泛，允許根據要求調整不同參數；與不同的蝕刻和灰化參數兼容，包括高密度蝕刻；其安全特性可確保最低限度地接觸有害氣體。該機易於融入現有生產線。它可以連接到計算機以提供流程數據、監控流程並確保結果的可重復性。還可以與SEM、AFM、晶圓步進等其他系統集成，進一步提高工藝效率。總體而言,Formula-1S-H是一個可靠而精確的蝕刻器和灰燼.它的高性能和許多附加功能使其成為各種微加工和半導體應用的理想選擇。
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