二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293647205 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H是一種專門為半導體加工而設計的蝕刻/asher設備。TEL Formula-1S-H是一個直接加熱型蝕刻器/asher單元，配備獨特的TEL原始脈沖CO2激光系統。高輸出、高效的激光保證了蝕刻速率高、晶體損傷小。TOKYO ELECTRON Formula-1S-H還具有高精度溫度控制系統，不僅確保薄膜均勻沈積在基板上，而且消除了不均勻的傳熱，確保了一致的蝕刻結果。Formula-1S-H還具有先進的溫度控制和腔室設計，確保準確和一致的退火和蝕刻過程。退火和蝕刻工藝的溫度可以精確調整，腔室設計最大限度地減少熱傳遞，從而實現高效退火和蝕刻工藝。溫度範圍易於調節，腔室高度可調整至最佳蝕刻高度。TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H還設有一個專用的CO2激光系統，具有一系列的激光參數和激光功率設置，允許用戶為自己想要的應用優化工藝。激光參數可根據應用進行調節，使用戶可以達到精確的蝕刻特性。可調激光設置確保蝕刻工藝能夠優化，達到精確的蝕刻深度和深度輪廓。TEL Formula-1S-H還采用了獲得專利的CVD層增長技術,可以精確形成薄層。CVD層增長技術是一個減少處理時間、增加吞吐量、減少流程步驟數的單步流程。CVD層生長技術與III-V化合物、煙酸鋰和氮化硼材料等多種不同材料兼容。總體而言，TOKYO ELECTRON Formula-1S-H是專門為半導體加工而設計的先進蝕刻器/asher設備。高輸出、高效率的激光保證了蝕刻速率高，提供精確的溫度控制和腔室設計，使用戶能夠實現薄膜的均勻沈積。可調激光設置確保蝕刻工藝能夠優化，實現精確蝕刻特性，CVD層增長技術提供一步處理，減少加工時間，增加吞吐量。