二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293647206 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H是一種先進的蝕刻和灰化設備,專為手動和自動化半導體生產過程而設計。該系統構建在開放式體系結構平臺上，允許在選擇軟件、材料和組件時具有最大的靈活性。蝕刻器/asher單元由一個加工室組成，由高速電磁攪拌器和熱板驅動，用於在加工前對晶片進行預熱。該腔室能夠在超高真空（UHV）中進行灰化和蝕刻循環，還配備了強大的高頻等離子體源。該單元具有高效的晶圓裝卸機，能夠處理各種晶圓直徑（從2「到6」）。該設置還允許手動或自動操作,因此非常適合生產部署。流程控制非常先進,允許對每個處理步驟進行詳細的參數設置、監視和文檔記錄。這樣可確保最大程度的可重復性和產品質量。其他功能包括高容量的板載供氣,以及高精度的流量控制,以實現一致的蝕刻/灰化結果。該工具還可與在線計量工具和實時晶圓清洗資產相結合，以提高效率和綜合質量控制。TEL Formula-1S-H 蝕刻器/asher的設計符合半導體行業標準,提供安全可靠的結果,使其成為自動化驅動的生產環境的理想選擇。該模型易於安裝和維護，用戶幹預最少，內置校準設備。這使其成為現代半導體制造作業的理想之選。