二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293651983 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H 蝕刻器/asher設計用於可靠的高通量晶圓蝕刻應用。該設備采用專利的三區結構，帶有負載鎖定和轉移室、前室和蝕刻反應區，用於高效氧化和蝕刻過程。TEL Formula-1S-H利用集成軟件系統進行自動化和可重復的過程控制和監控。該單元采用高真空成形和清潔室設計，能夠形成1x10-6 torr的高真空環境。自動冷卻歧管確保在蝕刻之前對基板進行均勻和可重復的冷卻。簡單直觀的用戶界面允許用戶快速編程過程條件和氣體流速。主室包含一個用於樣品蝕刻的反作用區，具有一個變頻、高頻發電機，用於精確控制蝕刻功率。旋轉的提升臂增加了機器的穩定性，並允許可變和可重復的蝕刻。該室還采用超高分辨率質量流控制器（MFC）提供免提過程控制,並通過電子控制單元（ECU）中的正向電源設置啟用射頻功率調節。TOKYO ELECTRON Formula-1S-H 蝕刻器/asher還包括增強的多區控制、優越的蝕刻均勻性、大容量的盒式裝載機、改進的基板加熱歧管和耐氧化還原、重型不銹鋼腔室等附加功能。獨特的彈簧清洗工具進一步縮短了加工時間，而自動清洗資產減少了蝕刻殘留物的形成，增加了內部部件的使用壽命。Formula-1S-H 蝕刻器/asher利用各種安全選項,例如用氮氣清除氣體、後排氣管和其他互鎖裝置。提供了一個先進的紅外端口，用於監測腔室溫度，並包括一個全面的監測和過程控制模型，以及實時的過程數據采集，以進一步確保最大程度的過程可靠性。總之，TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H 蝕刻器/asher是一種用於蝕刻和灰化應用的高度可靠、高效的設備。其中包括一些高級功能以確保一致的結果,以及許多安全功能。該系統非常適合中高容量的蝕刻和灰化應用,並得到了TEL業界領先的服務和支持的支持。
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