二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293653295 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H是一款具有人性化設計的高性能蝕刻器/asher。該設備具有單線或雙線系統的頂部加載和底部加載配置。蝕刻器/灰燼壓力控制由兩級兩站壓力調節器維持。單行單元最多可同時處理五個食譜，雙行一次最多可處理10個食譜。該機還設有一個高分辨率的X-Y-Z機器人，用於裝載和卸載基板，以及一個可編程的側壁角度控制器，用於精確蝕刻和灰化過程。TEL Formula-1S-H 蝕刻器/asher采用RF和直接加熱線圈的混合加熱方法,確保整個補丁區域的溫度均勻性。腔室大氣通過渦輪分子泵來控制，允許持續分析和維護。包括一個實時幹涉儀來監測過程，以及一個無濾清器的排氣工具與冷卻排氣。資產還包括一個可編程的安全互鎖與鎖定頻率限制器，以保護模型及其操作員。一個方便的電源允許直接連接到設備，具有單點電子束電源。最後采用紅外加熱系統將環境溫度降低到所需溫度。TOKYO ELECTRON Formula-1S-H ETCHER/ASHER是一個可靠而靈活的單元，能夠為任何蝕刻或ASHING應用產生準確的結果。其用戶友好的設計、集成的安全特性和先進的溫度控制能力使其成為任何蝕刻和灰化操作的絕佳選擇。
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