二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293654964 待售
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ID: 293654964
優質的: 2006
Diffusion furnace
Control system
Heater temperature: 600°C-900°C
Load port
FIMS
Wafer transfer
Boat elevator / Seal cap rotation
Auto shutter
Heater model
N2 Load lock
Boat operation
Process: LPCVD
Si SEMI STD-Notch, 12"
Furnace temperature controller: M780
HTR
Power box
Carrier transfer
Mechanical driver
Exhaust box
Front and rear upper cover
Final valve box
Gas flow chart
O2 Analyzer
Hard Disk Drive (HDD)
Does not include HCT
User interface:
MMI and gas flowchart: Gas box and front operation panel installed
Pressure display Unit: Mpa / Torr
Carrier type: FOUP / 25slots SEMI STD
Fork meterial: Al203 and PEEK
W/T Type: 1+4 Edge grip
16-Carrier stage capacity
Wafer notch aligner
RCU
UPS
Power distribution system:
3-Phase connection type: Star connection
Single-Phase connection: Grounded
Single-Phase voltage
Gas distribution system:
FUJIKIN Integrated Gas System (IGS)
IGS Final filter, regulator: MFC Z500 Type
MKS Capacitance manometer vacuum gage - press monitor (133 Kpa)
Power supply: 400 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H是一種蝕刻器/灰燼，專門用於半導體器件制造的精密微加工工藝。它是一個單一的制造平臺,具有高度通用的工具集,能夠蝕刻、清潔和平面化後端線（BEOL）層和高級結構。該機器的設計提供了高度的靈活性,同時實現了較高的生產率水平。該設備用於先進的微電子制造，能夠處理各種微觀結構，從簡單的遮罩到結構復雜的高密度裝置。TEL Formula-1S-H能夠以高吞吐量級別進行蝕刻和清潔,並配備了一整套自動化功能,可確保準確性和可靠性。它有一個集成的清潔系統，可以容納後端線層所需的濕法和幹法。它具有用於精確對準和運動控制的高級CAD單元。該機擁有精密的過程控制軟件，允許實時反饋和參數調整，以確保產量。TOKYO ELECTRON Formula-1S-H專為高通量和可重復性而設計。它的模塊化體系結構和用戶友好的圖形控制軟件可以方便地進行流程設置。它還具有一個安全接口,可用於維護和編程目的的安全遠程訪問。該工具還配備了可編程邏輯控制器，用於自動化操作和增強設備保護。該資產還內置了安全功能和保護，如溫度和壓力傳感器、火災和氣體檢測系統，以及過程監控。該模型具有低溫幾何蝕刻能力，可減少殘余應力和對細膩基板結構的變形。它還有一個優化的沈積過程，減少顆粒汙染，以確保最高性能。Formula-1S-H設計符合國際半導體生產行業的標準。它是業界領先的多用途可靠的蝕刻和灰化設備。它提供卓越的性能和加速的微加工增長。該系統設計易於使用、靈活、經濟高效。這使得TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H現代半導體器件制造高精度微加工需求的理想選擇。
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