二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293744363 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H是一種蝕刻/asher設備，旨在使用戶能夠蝕刻和灰分半導體材料，用於制造集成電路、薄膜、微機電器件以及相關產品。該系統通過與基板表面一致的蒸發/冷凝過程工作。它設計用於處理多種不同的基材類型和材料，包括矽片、玻璃滑梯、金屬基材和奇特的半導體合金。TEL Formula-1S-H具有真空室,該真空室密封在疏散氣體中,確保環境保持在-50至+150°C的溫度範圍內。真空室使用內置的加熱器，在蝕刻過程開始之前將選擇的基材加熱。TOKYO ELECTRON Formula-1S-H以熱解吸裝置（TDU）為主要成分。該單元既包含高頻蝕刻單元，也包含低頻蝕刻機，允許用戶根據自己的應用蝕刻和灰燼更具體的材料。TDU還具有高達300 °C的可調溫度,用於精細基板的高精度蝕刻。Formula-1S-H還具有「後蝕刻分析」工具。該資產跟蹤基材在蝕刻時的厚度，並提供有關蝕刻精度的反饋。此外,它還可以提供有關蝕刻過程均勻性的信息。最後，TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H具有深層紫外線光學吸收模式，使用戶能夠測量基材在原子水平上的均勻性。這提供了精細材料蝕刻和灰化時的準確性和信心。總之，TEL Formula-1S-H是一個先進的蝕刻/asher模型設計，以適應各種不同的基材。其特點，如TDU、PEA、深層紫外線光學吸收器設備，在蝕刻和灰化細膩材料時保證精度、精度和均勻性。