二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293744364 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H是為集成電路和微機電系統（MEMS）的工業制造而設計和設計的最先進的蝕刻/灰化設備。此高級系統的設計可確保高吞吐量、精密蝕刻過程,並可提高設備產量、提高工藝可靠性和縮短周期。TEL Formula-1S-H利用高真空環境來確保完整的過程控制和可預測的結果。這種高吸塵特性有助於防止汙染物沈積在晶片上，也有助於防止從一批晶片到另一批晶片的交叉汙染。該單元可容納直徑從2英寸到8英寸不等的晶圓尺寸，具有為高效工藝均勻性、晶圓位置均勻性和溫度而設計的加工室。蝕刻過程發生在低應力環境中，這有助於在蝕刻過程中最小化設備應力和損壞。該機利用先進的電腦化溫度控制和電源管理系統，確保在蝕刻過程中精確的溫度和電源控制。該溫度控制工具具有根據指定工藝參數調節樣品溫度的能力。電源管理子系統允許用戶調整蝕刻的功率水平和沈積速率，以達到最佳效果。TOKYO ELECTRON Formula-1S-H還為廣泛的濕法和幹法蝕刻、灰化、濺射和離子植入過程提供支持。該資產還與各種遠程監控系統集成在一起，允許用戶實時監控晶圓狀況、沈積和蝕刻參數。這項技術保證了流程的一致性和可靠性。這種先進的模型還利用先進的監控系統，讓用戶能夠監控單個蝕刻和ashing運行的結果，並確保過程的一致性和穩定性。此外，設備完全可定制，允許用戶指定疏散參數、工藝室尺寸、樣架、目標晶圓尺寸、方向等參數。Formula-1S-H是一個功能強大、用途廣泛的蝕刻和灰化系統，旨在確保在微電子和MEMS制造中的應用得到一致和統一的處理結果。這臺機組先進的溫度和電源管理系統提供了可靠的過程控制環境，而其遠程監控功能則允許用戶實時監控晶圓狀況、沈積和蝕刻參數。機器的可自定義配置允許用戶根據需要有效地擴展蝕刻和灰化過程。