二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293796682 待售
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ID: 293796682
優質的: 2016
Furnace
Process: TEOS
Gas flow chart
Gases: Pure N2, 20% F2 / N2, HF, Q2
Power box
Exhaust box
WAVES Controller
Rapid Cooling Unit (RCU)
Pump diameter: 100 A
CKD VEC-V8 Series Valve
2016 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H（或F1S-H）是一種化學蝕刻器/asher，提供各種材料的精密蝕刻/ashing能力。緊湊的四氣設備有兩條蝕刻氣線和兩條能量感應氣線。該系統高度自動化,使用戶能夠為各種蝕刻/ashing任務編程所需的條件。該F1S-H配備了高分辨率加熱器等先進功能，用於精確的溫度控制。它還對所有四條氣線都有獨立的控制，允許正負壓力調節，以最大限度地提高蝕刻/灰化效率。該裝置的溫度由石英復合熱電偶監測。溫度可在4 600℃範圍內調整,以匹配正在蝕刻/粉刷的材料。該F1S-H還設有多頭噴嘴機，可互換噴嘴範圍從3到55微米，每個噴嘴之間的距離最小。這允許用戶根據需要精確調整蝕刻圖案的大小和形狀，從而獲得更準確的結果。該F1S-H還有一個先進的膜處理工具，是完美的幹燥和濕膜。該資產可處理氧化金錫、金、鋁等薄膜類型。薄膜基材可加工至8英寸寬,薄膜厚度為3-15微米.為了安全措施，F1S-H配備了室內和外部廢氣監測能力。該模型旨在在氣體含量達到不安全水平時自動關閉腔室。TEL Formula-1S-H是用於蝕刻/灰化應用程序的理想解決方案,可提供精確度和效率。它的高級特性和功能使其成為滿足各種蝕刻/灰化需求的可行選項。憑借其緊湊的設計和堅固的設備，F1S-H是一個經濟可靠的選擇，以滿足各種工業、實驗室和研究需求。
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