二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula ALD High-K #9283434 待售

TEL/TOKYO ELECTRON FORMUM ALD High-K 蝕刻器/asher是一種先進的計算機控制蝕刻設備，用於制造半導體、MEMS和其他納米設備。該系統利用原子層沈積（ALD）技術，在蝕刻過程中能夠精確控制耐蝕性和/或可蝕刻材料。TEL Formula ALD High-K單元設有兩個腔室：一個用於等離子體蝕刻，一個用於等離子體灰化。機器在單個腔室中使用單個晶圓傳輸工具執行這兩種方法。資產具有上下感應射頻源，提供均勻加熱和可用於蝕刻或灰化的低功率源。它還包括一系列可定制的參數,以匹配工藝配方。該模型可處理多種抗蝕刻材料類型，包括SiO2、SiN、Si、AlOx、介電/半導電/聚合物/導電介電/金屬等材料。軟件可編程的蝕刻能力、壓力和處理時間允許用戶從廣泛的配方中選擇最佳條件。TOKYO ELECTRON FORMUM ALD High-K 蝕刻器/asher具有原位清洗能力，允許連續生產和更高的吞吐量。此外,事實證明,該設備在晶片上實現了平穩、均勻的蝕刻/灰化性能。這個先進的系統能夠同時處理許多晶片，精確控制蝕刻/灰分參數和抗蝕條。該裝置的高通量、均勻性和精確的蝕刻/灰分控制使其成為半導體制造、MEMS制造和其他納米設備加工的理想工具。Formula ALD High-K 蝕刻器/asher以其精確的蝕刻和灰度控制，是任何納米技術/納米加工實驗室的首選。