二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula ALD High-K #9372779 待售

TEL/TOKYO ELECTRON FORMUM ALD High-K是次世代蝕刻器和asher。它是為先進半導體工藝而打造的高性能工具。它包含了幾個尖端的功能，使用戶能夠實現高精度的蝕刻和ashing操作。ALD High-K設計緊湊,能高效地提供精確、可重復蝕刻所需的功率和速度。它配有600毫米的加工室，允許蝕刻大型復雜結構。該腔室配有四級差速泵系統和光學監測設備，可提高精度並有助於確保精細蝕刻效果。由於其先進的冷卻系統，該工具在長時間使用後能夠保持穩定的加工條件。除了耐用、高性能的硬件外，ALD High-K還擁有強大的軟件。其先進的模式識別算法通過實時檢測弱蝕刻零件，促進了最佳蝕刻性能。此外,其用戶友好的GUI界面有助於提高操作效率。ALD High-K符合廣泛的蝕刻和灰化應用，包括多矽和二氧化矽蝕刻、銅去除、金屬各向異性蝕刻等等。它還能夠進行半導體工藝控制，允許用戶進一步定制和優化其蝕刻工藝。總體而言，TEL Formula ALD High-K是一款功能強大、可靠的蝕刻器和asher，旨在滿足現代半導體行業的需求。憑借其最先進的硬件和軟件功能,它能夠在每次使用時提供可重復、精確的結果。