二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula ALD High-K #9404261 待售

TEL/TOKYO ELECTRON FORMUM ALD High-K是一款基於原子層沈積（ALD）技術的先進蝕刻器/asher。它是TEL系列ALD設備的最新新增產品，旨在幫助工程師和科學家以高精度和高精度創建高級設備。TEL Formula ALD High-K設計為通過極高精度和均勻性的高K介電和金屬互連材料進行蝕刻。它采用低壓低溫環境，幫助最大限度地減少材料損失和對敏感電子元件的損壞。蝕刻器/asher具有先進的特點，包括動態反應室和穩定的等離子體室，這允許精確和一致的蝕刻結果。這一過程是在兩步過程中進行的，使用一個過程程序來控制前體氣體的脈沖序列，導致材料的均勻蝕刻。TOKYO ELECTRON FORMULA ALD High-K附有一系列配件，包括製程程式、日誌檔案，以及觸摸屏介面以方便操作。它還具有用於蝕刻和工藝優化的軟件支持的模擬,使用戶能夠自定義其蝕刻過程並針對其特定應用進行優化。設備配備了安全措施,包括在發生意外或危險事件時自動關閉或發出警報。它還設計為節能,因為它配備了一個電源管理系統,可監控設備的性能並優化設備的功耗。綜上所述，Formula ALD High-K是一款先進的蝕刻器/asher，旨在幫助工程師和科學家以極高的精度和均勻性通過高K介電和金屬互連材料進行蝕刻。其先進的特性、眾多的配件和節能的設計使其成為高級設備開發的寶貴工具。