二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #293596090 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula （TEL/TF）是TOKYO ELECTRON （TEL/TOKYO ELECTRON）為半導體工業中的蝕刻和灰化過程而開發的蝕刻器/灰化器。它基於公司獨特的技術,為各種設備類型提供可靠、高效的蝕刻/灰化工藝。TEL/TF 蝕刻器/asher是一種基於真空的設備,它利用多種先進技術來實現精密體系結構的穩定蝕刻/灰化。它有一個小的足跡，這使得它適合各種蝕刻/ashing過程。此外,它還具有自動化的過程控制系統和先進的運動控制功能,可確保整個基板上均勻的蝕刻/灰分參數。對於蝕刻工藝，TOKYO ELECTRON/TF 蝕刻器/asher采用反應性離子蝕刻（RIE）工藝，可以比傳統的RIE工藝更受控地蝕刻蝕刻結構。此外，它具有對各種材料進行各向同性和各向異性蝕刻的能力，可用於產生3D結構。蝕刻過程使用感應耦合等離子體（ICP）與由高級控制器控制的集成氣體輸送單元。同時，TEL/TOKYO ELECTRON/TF 蝕刻器/Asher的灰化工藝利用特氟龍封裝的紅外燈實現了可重復、氣密、化學惰性等離子體，去除蝕刻等工藝中的殘留汙染物。灰化機可以精確調節壓力、溫度和室內氣氛，提供高度一致和可重復的過程。此外，TEL/TF 蝕刻器/asher還具有廣泛的機電式盒式磁帶傳輸和附件，用於自動基板加載和處理。它還擁有先進的晶圓加熱和冷卻系統以及用於精確維持基板溫度的真空泵。TOKYO ELECTRON/TF 蝕刻器/asher設計為用途廣泛，可以定制以滿足各種蝕刻/灰化工藝的要求。憑借其廣泛的能力和先進的技術，TEL/TOKYO ELECTRON/TF 蝕刻器/asher是半導體行業中一種可靠、高效的蝕刻和灰分工藝解決方案。