二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #293596091 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Formula(「TEL Formula」)是半導體工業中用於去除和清潔半導體基板的強大蝕刻和灰化機。它能夠提供高質量、均勻的蝕刻結果。TOKYO ELECTRON Formula的設計是為了在生產高複雜度、先進的電路設計上提供最高的精確度和效率。蝕刻器的核心是精密、高速的主軸電機,以及高速轉動的大直徑、高速磨料輪。這樣可以非常精確地去除半導體表面的材料,從而確保結果的均勻性。配方蝕刻器還具有集成真空設備,可消除蝕刻過程中產生的灰塵和碎屑,有助於確保最佳性能。TEL/TOKYO ELECTRON Formula蝕刻器利用一種獨特的專利工藝,稱為光子放電電子光刻(PDEL)來蝕刻和清潔半導體基板。PDEL是一種先進的蝕刻技術,利用高功率、紫外線激光器產生一個高強度電子氣泡,以高度均勻的方式蝕刻掉基板上的材料。利用這種先進的蝕刻技術,TEL方程式蝕刻器可以快速、精確地產生廣泛的先進電路設計。TOKYO ELECTRON Formula蝕刻器還具有智能、全面的控制系統,可以讓用戶調節腔室壓力和溫度、基板功率、激光功率等蝕刻參數。這有助於確保任何特定應用程序的最佳結果,並在調整蝕刻參數時提供更大的靈活性。該單元還有一個內置內存,用於存儲和記錄每個蝕刻條件,提供蝕刻過程的詳細視圖。總之,Formula是半導體工業中使用的先進蝕刻和清潔劑。該蝕刻器采用了創新、精確的PDEL蝕刻技術,其智能控制機使用戶能夠定制蝕刻參數,提供高質量、均勻的蝕刻結果。此外,機器的集成真空工具可以防止灰塵和碎屑汙染半導體基板,並確保最佳性能。
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