二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #293620669 待售
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ID: 293620669
晶圓大小: 12"
優質的: 2003
Furnace, 12"
(2) Load ports
(7) Boxes
Chamber
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula是一款高精密蝕刻機，專為超精細電路圖樣和光掩模應用而設計。TEL配方能夠使用最精確的專用基材和材料進行蝕刻工藝。該機器配備了創新的自動晶圓送貨設備，能夠及時高效地處理大批量訂單。機器采用的高精度蝕刻工藝首先是將基板裝入腔室，然後將其密封並清除周圍空氣。加熱器和低壓電子隨後將腔室排空，建立最佳的處理氣氛。此後，蝕刻機利用先進的脈沖激光沈積（PLD）和離子束蝕刻（IBE）技術，制造出一系列多級金屬和介電膜。TOKYO ELECTRON Formula的精確度因其內置的原子吸收和源靶隔離系統而進一步提升。這些系統減少了蝕刻參數的公差和波動,從而能夠創建細線形狀和微小的點間距。這進一步降低了晶圓變形或蝕刻誤差的風險。此外，Formula還配備了嵌入式控制系統，使技術人員能夠定制每一個流程。該機器還擁有一個強大的自動粒子過濾和回收裝置，有助於減少灰塵或碎片被納入薄膜的可能性。得益於其獨特的自動化鈍化機，可以對每一層的結構進行徹底的監控和調整，防止損壞。總之，TEL/TOKYO ELECTRON配方蝕刻機為一系列光掩模和納米加工應用提供了卓越的精密工程。其先進的特性，包括其自動晶片輸送和控制系統，確保了最靈敏、最復雜的基板能夠高效加工和達到最高標準。
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