二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #293620672 待售
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單擊可縮放
ID: 293620672
晶圓大小: 12"
優質的: 2003
Deposition furnace, 12"
Process: SiN
Option: N28
Hard Disk Drive (HDD)
(2) Load ports
Chamber
RCU
N2 Box
Power box
Refill system
BTBAS
Gas detector box
Floor box
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula是為精確、高效、可靠的半導體晶圓加工而設計的高度先進的蝕刻/asher設備。其創新技術被廣泛應用，從制造微電子器件到研發新型材料。在其核心，TEL公式系統由兩個核心組件組成。首先是集成掃描微處理器（ISMP），負責控制整個單元，提供基板處理數據和反饋。二是等離子體基蝕刻室（PEC），它容納了與加工半導體晶圓有關的蝕刻和其他工藝。TOKYO ELECTRON FORMULA內的PEC能夠進行高精度的蝕刻工藝，實現高質量的晶圓圖樣，具有高精度和重復性。該機器能夠蝕刻各種材料，包括金屬、電介質，甚至氮化的氙（GaN）。PEC還擁有自己的集成冷卻工具，可確保精確的蝕刻溫度以及自己的廢物清除資產。公式的ISMP使用戶能夠完全控制蝕刻過程，允許對各種材料進行精確和可重復的蝕刻結果。通過利用ISMP的高級軟件算法，模型能夠制定蝕刻策略，並監控每個蝕刻步驟的進度。這確保了用戶能夠精確控制每個蝕刻過程並產生最高質量的晶圓圖樣。TEL/TOKYO ELECTRON Formula憑借其集成的質量管理設備（iQM），非常準確可靠。該系統執行過程中的質量管理,有助於確保一致滿足所需的性能標準。此外,該設備還具有各種安全級別,確保安全地獲取、存儲和處理所有質量數據。總之，TEL Formula是為精密、高效、可靠的半導體晶圓加工而設計的先進蝕刻和灰化機。其創新技術，加上先進的質量管理能力，使其成為各種應用的理想選擇，也是半導體晶片高度細化和精確制圖的理想之選。
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