二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #293622691 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula是一種蝕刻器/asher，一種通過與化學蒸氣或等離子體反應從工件表面蝕刻材料的裝置。該工藝用於半導體生產、PCB制造等行業。顧名思義，該設備由半導體和PCB生產設備的領先供應商TEL制造和銷售。TEL Formula是一種高級蝕刻器/灰化器，依靠化學氣相沈積（CVD）和等離子體蝕刻技術的組合，產生高質量的蝕刻結果。TOKYO ELECTRON Formula使用CVD工藝在工件上創建氧化物遮罩層。然後對此蒙版進行陣列化以創建特定的蝕刻陣列。一旦陣列化,設備將啟動等離子體蝕刻過程以完成工件的蝕刻。配方采用先進的氣體註入、輸送和控制技術系統，確保整個蝕刻室的氣體分布均勻。這樣可以為每個循環提供一致的蝕刻配置文件。該設備還具有一個具有廣泛動態範圍的溫度控制系統，以確保蝕刻過程從一個應用程序到下一個應用程序都是可靠一致的。此外，TEL/TOKYO ELECTRON Formula包含一個原位壓力控制功能，使得每種獨特的材料類型都能有精確的蝕刻條件。TEL公式還提供了無與倫比的過程自動化程度。這包括一個自動化的CVD掩模層傳感系統，以確保完美的氧化層配準和配方驅動的界面，以簡化蝕刻工藝設置。該設備可以與主機結合使用，也可以通過TOKYO ELECTRON Net I/O直接控制，允許用戶自定義自己的蝕刻參數以達到最佳效果。總體而言，TOKYO ELECTRON Formula為各種生產工藝提供了強大可靠的蝕刻解決方案。其集成的CVD和等離子體蝕刻系統允許精確蝕刻控制，而其自動化控制和配方驅動界面簡化了整體操作。因此，Formula是各種工業應用的理想蝕刻器/asher。