二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9098194 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula是一種在半導體製造領域使用的高度精密的蝕刻器和asher。它是為沈積和蝕刻工藝設計的單晶片系統，可用於半導體制造的各種步驟，包括薄膜沈積、蝕刻或化學機械拋光。此蝕刻器/asher的獨特設計提供了快速的過程時間、更高的吞吐量和改進的過程一致性。TEL Formula利用多種等離子體來源對材料進行蝕刻和成形。此蝕刻器/灰化器具有真空和高壓工藝室。真空室用於進行蝕刻、薄膜沈積或CMP工藝。高壓室被用於提高生產率和產生更高質量的接口與基板。TOKYO ELECTRON Formula的創新設計基於提供高功率和低功率的雙頻RF發生器和短脈沖、高頻RF發生器。這種設計的主要優點是它允許更高的蝕刻速率以及更好的表面均勻性。此外，雙頻發電機還實現了更快的處理時間和改進的過程控制。Formula的先進設計也使得能夠使用較低的溫度，允許改善材料的相容性和增加過程的靈活性。這項技術允許使用先進的材料和高性能的薄膜沈積工藝以及優越的蝕刻選擇性。此外，TEL/TOKYO ELECTRON Formula還以全球入射頻率控制為特色，以優化蝕刻性能和改進工藝控制。TEL方程式的整體表現令人印象深刻。這種蝕刻器/asher提供了出色的工藝重復性、高吞吐量和優越的蝕刻速率,使其成為各種半導體制造工藝的誘人選擇。此外,先進的設計允許更快的處理時間以及改進的過程控制,使制造商能夠獲得更高的產量和精確的過程控制。