二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9195346 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula是一種蝕刻器（通稱為asher），可用於蝕刻或雕刻半導體圖樣等材料。它采用激光、紫外線和化學蝕刻技術相結合。該裝置使用電子槍的精確粒子束來創建所需的蝕刻圖樣。這種光束是由一個小孔徑發出的，其模式由電極的電壓決定。TEL配方蝕刻工藝依賴於包括激光、蝕刻劑和清潔溶液在內的多種不同元素。激光用於創建初始模式，然後在測試結構上進行測試和修改。然後使用蝕刻溶液和氣體來塑造圖樣，以及在蝕刻完成後清潔基板。該裝置有一個固定臂，該臂將晶圓或其他基材固定在適當的位置進行蝕刻。專門的持有者可以用於各種基材。手臂根據操作員的輸入設置在特定位置。手臂可以針對不同的底物作進一步的調整。TOKYO ELECTRON Formula Etcher還設有一個自動進紙器，可一次進給多達4個晶圓。該系統可確保設備高效工作並加快蝕刻過程。蝕刻工藝幹凈高效，非常適合蝕刻細膩的基材。配方蝕刻器還有幾項安全措施可以防止事故和暴露。板載過濾器有助於避免在蝕刻過程中空氣中的顆粒，並且提供了一個HEPA過濾器用於蝕刻後的清除。該裝置還由耐高溫和其他危險氣體的材料制成。TEL/TOKYO ELECTRON Formula具有正負蝕刻能力，可用於產生大小和復雜度各異的圖樣。該設備具有精確和可重復的精度，並具有用戶友好的界面。這是一個理想的選擇，對於那些希望蝕刻精致的材料和創造半導體模式。