二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9211539 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Formula是為半導體器件處理而設計的高速蝕刻設備。利用獨特的多向蝕刻工藝，達到最大效率和精度。該系統配備精密的三維控制，為每個應用提供最佳蝕刻特性。TEL配方還設計用於支持多種工藝技術，包括幹法和等離子體蝕刻。幹蝕刻工藝將揮發性梁類型與先進的氣體混合物輸送裝置結合在一起。這種組合為薄膜沈積提供了較高的蝕刻速度和均勻性。等離子體蝕刻工藝將超高密度等離子體與高分辨率等離子體結構相結合，提高了蝕刻生產率。TOKYO ELECTRON Formula還具有高密度超音速蒸汽射流（SVJ），用於提高蝕刻效率和等離子體選擇性。與傳統的蝕刻工藝相比，SVJ有助於產生更高的蝕刻速率和更低的蝕刻成本。此外，機器還配備了射頻電源工具和各種傳感器，以確保精確的過程控制。此外，Formula被設計為通過允許用戶根據應用選擇最佳蝕刻參數來優化蝕刻過程。例如,用戶可以調整氣流、蝕刻速度、蝕刻深度、溝槽大小和氣體脈沖寬度。此高級定制功能可確保用戶以最高的蝕刻速率生產出質量最高的設備。TEL/TOKYO ELECTRON Formula是一種獨特的半導體器件處理蝕刻溶液。它結合了高級控制和定制功能,可實現更快的蝕刻速度、更高的精度和卓越的生產效率。它易於設置和操作，因此即使那些蝕刻經驗有限的人也可以很容易地從資產中獲得最大的收益。
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