二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9250261 待售
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ID: 9250261
晶圓大小: 12"
Nitride furnace, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Formula Etcher/asher是一種最先進的半導體制造設備,用於去除和沈積材料薄膜以產生錯綜復雜的圖案。它是高效的,允許在各種類型的基板上對圖樣進行堅固而精確的蝕刻。蝕刻器使用高度先進的蝕刻工藝,利用化學和物理技術相結合。術語蝕刻用來描述在基材中創建圖樣的過程。TEL Formula 蝕刻器/asher首先利用自旋塗層技術將材料的薄膜沈積,然後將其蝕刻到基材中。此後,蝕刻器利用反應性離子蝕刻能力,施加電磁場導致電離粒子轟擊基板。這樣可以創建一個具有地形的基板,從而可以精確地蝕刻到材料中。之後,通過有選擇地在基板上蒸發或濺射一層薄薄的材料來創建蝕刻面膜。這一層材料充當蝕刻的屏障,只允許某些區域被蝕刻掉,而在其他區域保持完整。除蝕刻工藝外,TOKYO ELECTRON Formula 蝕刻器/asher還包含一個分選系統。該系統利用光電阻傳感器來檢查基板表面並確定應在何處進行蝕刻。這不僅有助於確保精確度和精確度,而且還有助於確保速度和最低限度的材料使用。配方蝕刻器是一種高效、復雜的半導體制造設備.該機采用先進的蝕刻工藝,結合分選系統和光電阻傳感器,創建了一種精密的材料去除方法。通過高效、精確的蝕刻,TEL/TOKYO ELECTRON Formula 蝕刻器/asher為半導體制造提供了可靠、經濟的解決方案。
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