二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9250263 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula （TEL/TEF）是一種先進的蝕刻器/asher，用於集成電路的制造。這種專用設備作為多層光刻工藝的一部分，用於在晶片上蝕刻圖樣，在先進的半導體器件制造中已成為必不可少的。TEL Formula有模塊化的設計，它可以執行廣泛的蝕刻步驟。這包括手動和自動基板處理、晶圓級等離子體蝕刻、亞微米圖樣分辨率和晶圓級光塗。先進的蝕刻工藝提高了吞吐量和精度,可以創建變化程度非常低的復雜模式。TOKYO ELECTRON Formula使用等離子體蝕刻技術在晶圓表面上創建圖樣。在蝕刻過程中，具有可變壓力和溫度的先進等離子體源產生了一個等離子體環境，在該環境中蝕刻氣體在腔室中產生一個活性物種，形成一個等離子體。然後將等離子體環境與特定的蝕刻氣體結合使用，從晶圓中去除材料，形成所需的圖樣。公式還能進行電子束光刻和無掩蔽光刻。電子束光刻利用電子束在晶圓表面上精確繪制圖樣。無掩模光刻利用先進的激光快速蝕刻圖樣，精度遠大於傳統光刻技術。TEL/TOKYO ELECTRON Formula提供了極高的精確度和可重復性,其先進的蝕刻功能可輕松實現。此外，由於其模塊化的設計，TEL Formula可以很容易地進行調整和升級，以滿足現代半導體器件制造商不斷演變的需求。總體而言，TOKYO ELECTRON Formula是一種先進的蝕刻器/asher，用於集成電路的制造。它使用等離子體蝕刻、電子束光刻和無掩模光刻的組合，在晶圓表面上蝕刻非常精確的圖樣。它的模塊化設計允許靈活性和可升級性，使其成為半導體制造商所需的蝕刻解決方案。