二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9256202 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula是一種蝕刻器/asher，設計用於執行晶圓處理任務時的高精度和自動化。TEL Formula的高級功能確保了創建高質量組件的可重復過程。平臺由多區真空室、發射器和隔離通道驅動，為各種氣體的蝕刻和灰化應用提供了精確、可調的條件。該蝕刻器/灰化器能夠在高達800°C的溫度和高達5.7 torrs的壓差下處理直徑達200 mm的晶片。它還使用專有的控制邏輯系統（Control Logic System，CLS）軟件，精確控制晶圓處理環境，實時監控數據。TOKYO ELECTRON Formula具有高生產率和薄膜均勻性,維護和供應負荷低.計算機采用四層體系結構構建,可根據客戶的應用程序和流程要求進行配置。此外，Formula可以在多個進程之間切換，允許用戶根據需要自定義其蝕刻和灰化應用程序。TEL/TOKYO ELECTRON Formula還有一個人機界面（HMI），能夠自動控制蝕刻和灰化參數以及系統狀況的自我診斷。TEL ETLINE系列能夠快速、經濟高效地蝕刻和粉刷各種目標,包括金屬、電介質、多晶矽和有機物。該系列采用高強度石英腔室,可實現卓越的工藝重復性和穩定性,並通過集成工藝控制系統（PCS）套件實現自動化工藝控制。ETLINE系列專為所有蝕刻和灰化過程提供改進的過程重復性、重復性、吞吐量和統一性而設計。TEL Formula是一個最先進的蝕刻器/asher,它為創建高質量的組件提供了一致且可重復的過程。該平臺具有先進的功能和技術,可確保精確的晶圓處理,同時還提供高生產率、薄膜均勻性和低維護成本。ETLINE系列專為蝕刻和灰化應用而設計,提供了改進的過程重復性、吞吐量和統一性。所有這些特性結合在一起，使得TOKYO ELECTRON Formula成為需要精確蝕刻和灰化應用的用戶的絕佳選擇。