二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9263869 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula代表為半導體工業設計的一系列高性能蝕刻和灰燼系統。這些系統旨在創建超精確的功能,並滿足業界嚴格的法規要求。TEL Formula是一種通用、健壯、可靠的蝕刻和灰分應用工具。該設備可提供高達± 0.001"的精度水平,即使是要求最苛刻的基板也能提供可靠的性能。TOKYO ELECTRON Formula利用一系列技術創造出最佳的工藝結果。熱交換器和波浪回流技術保證了工藝溫度和晶圓地形的均勻.該系統配備等離子體源控制電子束蒸發，提供高度一致的加熱和蝕刻操作。電子沖擊電離（EI）離子源技術提供了最高的材料去除和沈積速率。Formula還提供了先進的過程控制功能，包括自動通道切換、RF/DC電源控制、基板溫度控制以及特定於過程的配方。該股還全面配備了數據記錄和監測能力，簡化了文檔和分析。該機還可以升級到包含多個配方，提供更大的靈活性和精確度。TEL/TOKYO ELECTRON Formula利用先進的材料並具有先進的功能,包括先進的溫度控制、蝕刻的石英crucibles、與HD兼容的控制器、控制氣流和壓力的軟件以及壓力剖析模型。其創新的設計保證了工藝條件的統一、工藝的出色穩定性和高效的運行。該工具用途廣泛，為幾乎任何基材和應用提供多種蝕刻和灰分溶液。TEL Formula是為易於使用而設計的,使其成為缺乏資源或人員來操作更大資產的實驗室或生產設施的理想解決方案。它的模塊化設計允許用戶根據需要自定義和擴展其功能。該型號還設計為維護簡單,維護效率低,停機時間為零。TOKYO ELECTRON Formula是符合IEEE 1149.6-和SECS II-的，確保絕對的過程控制。該設備采用優化的硬件和軟件，以最大限度地提高系統吞吐量，確保高工藝產量和高產品質量。其先進的工藝能力、可靠的性能和較低的維護要求相結合，使得Formula成為各種蝕刻和灰燼應用的理想選擇。