二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9263872 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Formula
ID: 9263872
晶圓大小: 12"
Nitride furnace, 12". Process: DCS SiN
TEL/TOKYO ELECTRON Formula是一種蝕刻器/asher,一種濕化學和幹蝕刻工藝,適用於各種各樣的產品和底物。它是一種廣泛使用的材料去除和改性方法,包括半導體、陶瓷和其他基板。這種蝕刻器是化學反應和幹蝕刻的結合。濕化學蝕刻過程涉及使用酸、堿和化學催化劑從底物中溶解靶向材料。這一過程是可逆的,因為蝕刻完成後可以中和或去除蝕刻化學物質。蝕刻過程發生在室溫下,導致使用的能量比其他蝕刻過程少。幹蝕刻工藝利用氣態形式的化學蝕刻劑在較高的溫度下從基板上去除材料。這些蝕刻劑常包括蝕刻氣體混合物如Cl2、CxFy、CHF3和CO2,同時使用Ar、O2和N2等氣體協助蝕刻過程。這一過程也是可逆的,因為蝕刻化學物質可以在完成後在受控環境中被中和或去除。濕蝕刻和幹蝕刻的結合可用於在從基材中去除材料時創造高精度。TEL公式利用這兩種方法來提供不同應用所需的精確蝕刻級別。TOKYO ELECTRON Formula精密切割、雕刻、拋光表面的能力使其成為多種底物的有益工藝。這一工藝已被用於生產半導體、印刷電路板、醫療元件和通信元件。這款蝕刻器/asher的精確蝕刻工藝也有助於節省時間和金錢,因為蝕刻結果一致且幹凈。此外,由於材料的蝕刻是在原地進行的,這一過程還產生毒性較小的廢物。總體而言,Formula是一種可靠的蝕刻器/asher,適用於許多基材。濕式和幹式蝕刻技術結合起來,產生了非常準確的結果,並采用了快速和經濟高效的工藝。此外,這種蝕刻器/灰化器對環境安全,產生的有毒廢物極少,並通過在室溫下進行蝕刻來保持能量。
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