二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9263883 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula是專門為處理半導體晶圓而設計的蝕刻器/asher。該機器是由TEL有限公司和其他多家公司合作開發的。它具有高容量、多加載設備以及具有高級跟蹤和控制選項的高度可定制的用戶界面。該系統的ASher（高級亞半蝕刻器）部分提供了一個蝕刻室，最多可有20個石英晶片並行處理。蝕刻過程不會影響晶片的溫度，從而允許蝕刻和灰化過程在同一腔室中進行。蝕刻室還提供端點檢測，用於精確的蝕刻控制。此外,在會議廳中的可編程過程允許針對特定任務進行進一步的自定義。這臺機器還配備了一個先進的跟蹤裝置，可以自動跟蹤和控制晶圓。這使用戶能夠輕松地監視蝕刻和灰化過程。這臺機器也是高度可定制的，可以根據用戶的喜好進行微調。跟蹤工具還包括手動操作和晶圓移除選項。TEL Formula的用戶界面設計得非常直觀，提供了簡單易用的所有可用蝕刻和灰化參數。它還允許多個同時進程在同一屏幕上顯示；這允許用戶一次監視和控制多個批次。該機器設計為用戶友好且可高度定制。建議將其用於研究和開發，以及用於生產級晶圓制造的可靠性和易用性。先進的用戶界面，以及高度可定制的軌道資產，使得機器非常通用，因此適合任何蝕刻和灰化的要求。