二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9277488 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula是一種蝕刻器/灰化器（又稱灰化設備），利用等離子體有效蒸發和去除底物中的有機物質。TEL Formula的蝕刻技術專為高通量應用而設計，提供高效的氣體利用和卓越的通量性能。該系統能夠處理尺寸達200毫米的基板，並利用雙源配置（等離子體和蝕刻氣體）提供精確的蝕刻控制。它還具有優化的工藝氣流，使用戶能夠獲得穩定和可重現的結果。TOKYO ELECTRON Formula具有兩種類型的等離子體源-射頻和冷等離子體.射頻源利用廣泛的射頻（RF）來維持等離子體，而冷等離子體源則使用直流輝光源來激活氣體。利用兩個等離子體源，用戶可以處理具有不同蝕刻速率的不同類型的材料，並引入漸進蝕刻輪廓，從而提供更穩定的蝕刻結果。該裝置還具有各種真空水平，從10.3 Pa到100 Pa不等，用於有效的基板清洗和蝕刻過程。采用了增強型WetDes技術來防止基板上的幹燥顆粒缺陷。基板的溫度也可以從腔室的自下而上控制。它具有較厚的泵油特性，提供穩定均勻的溫度，防止基板過熱，提高了蝕刻效果的質量。公式還采用了集成的過程監控機，使用戶能夠實時觀察和校正過程漂移。它具有配方控制程序流程參數，溫度監測，蝕刻速率控制和端點檢測等特點。所有這些功能都有助於確保快速、準確和可重復的蝕刻過程。TEL/TOKYO ELECTRON Formula是晶體矽、多晶矽和薄膜晶體管等廣泛應用的理想蝕刻工具。此外，其堅固的設計和多個等離子體源使其成為更先進蝕刻技術的完美平臺。對於要求高通量、精確蝕刻工作的廠商和研究機構來說，它是一種有效的蝕刻器。