二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9287525 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula是一種蝕刻器/asher，由TEL Ltd制造制造。它用於對需要特定表面光潔度的各種材料進行高精度蝕刻。它提供了各種工業應用，如薄膜沈積、介電蝕刻和化學機械拋光（CMP）所需的卓越蝕刻精度和性能。TEL公式由具有特定內表面光潔度的腔室組成。其設計目的是提供均勻的氣體擴散和最小的壁影響化學蝕刻過程。腔室內部是大功率光源、基板支架、氣體/化學噴射設備、排氣系統和控制器。光源照亮基板並創建所需的圖樣，而氣體/化學註入單元提供蝕刻過程所需的成分。排氣機負責在蝕刻過程中保持安全清潔的環境，方法是將蝕刻過程中產生的任何煙霧或顆粒抽走。控制器協調整個過程，監控光強度、氣壓、溫度等變量，以確保精確蝕刻。TOKYO ELECTRON Formula是高精度蝕刻應用的完美工具，因為它能夠提高蝕刻精度和吞吐量。控制器提供了廣泛的控制設置和參數,使用戶能夠根據自己的特定要求自定義其蝕刻過程。腔室的開放式結構，加上均勻的氣體擴散，確保了整個蝕刻表面的均勻性，提高了工藝的效果。公式是一個可靠的蝕刻器/灰化器，因為它提供了所有必要的組件，以實現精確的蝕刻和精加工。