二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9287527 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula（或蝕刻器/asher）是一種工業級、批量生產、化學機械平面化機，用於半導體等相關行業。它是一種堅固可靠的設備，能夠實現幾乎任何材料的平面化，包括金屬間屏障層、電介質、多層金屬互連、透明導電膜、碳納米管等等。TEL Formula Etcher/Asher通過使用化學機械平面化來工作，這涉及到同時應用化學力和物理力來達到平坦的表面。為此，該系統采用高速化學反應，去除和分解表面層的稀薄部分，以便將其平整。化學蝕刻與先進的拋光技術相結合，以確保實現清潔、拋光的表面。TOKYO ELECTRON Formula Etcher/asher是一個用途廣泛、功能廣泛的單元。它配備了機器人系統和自動化維護流程，使其能夠一次運行多條生產線。該機器還可以配置用於設置和過程,從標準的平面化操作和常規過程監視到實現更高精度所需的更高級的應用程序。此外，Formula 蝕刻器/asher支持多種材料和蝕刻化學。可使用CF和離子銑削等幾種工藝來選擇在各種應用中實現最佳剖面結果所需的參數和化學方法。蝕刻後處理也可用於需要額外表面修改的應用。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON Formula Etcher/asher是一種非常先進的工具，非常適合批量生產。其耐用的構造和先進的加工能力使其成為各種應用的理想選擇，從表面平面化到先進的介電沈積和鈍化。結合其綜合控制和儀表，是半導體及相關行業的理想機器。