二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9300651 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula（TEF）是一種高精度蝕刻/asher，用於生產半條件底物和其他敏感薄膜應用。TEF提供了無與倫比的準確性和穩定性,使其成為要求更高的蝕刻和粉刷應用的理想工具。TEF 蝕刻/asher具有持續可調的蝕刻速率，產生線寬最小化的超細分辨率。它結合了最先進的精確度和長期可靠的蝕刻工藝，提供精確和可重復的蝕刻和灰化結果。TEF 蝕刻/Asher有多種尺寸和功能,旨在滿足任何基板和蝕刻/Asher要求。它可以連接到標準清潔室設置並安裝在其中,以便於維護和操作蝕刻/灰化器。TEF還配備了自動粉末沈積設備，能夠精確沈積致敏粉末，從而提高蝕刻精度和結果。TEF 蝕刻/asher由無塵空氣軸承提供動力，可與電化學合金活性蝕刻劑一起使用，通常用於半導體應用。它還具有不銹鋼腔室，可確保不斷蝕刻/灰化，並可根據需要加壓或降壓。TEF可以處理各種蝕刻/灰化工藝參數，從而實現不同的蝕刻和灰化結果。TEF 蝕刻/asher還有一個視覺系統，它可以準確地監測多個蝕刻/ashing過程的順序，提高吞吐量和準確性。該機由可編程運動控制器控制，為蝕刻和灰化過程提供極高的精度和靈活性。一個集成的報警單元監視過程條件，在偏離標準參數的情況下可以關閉機器。對於基材的精密蝕刻和灰化，TEF蝕刻/灰化器是理想的選擇。其卓越的性能和可靠性使其成為許多半導體和薄膜應用的首選蝕刻/粉碎機。TEF憑借其無與倫比的精確度、在標準潔凈室中的輕松安裝以及自動粉末沈積工具,為蝕刻/粉末處理需求提供了高效可靠的解決方案。