二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9300652 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula是一種在半導體工業中使用的蝕刻器/asher。此蝕刻器/灰化器非常適合光刻和蝕刻應用。該機可用於蝕刻鋁、矽、多晶矽等多種材料。它還裝有一個濕蝕刻室，能夠更精確和更清潔的蝕刻結果。TEL公式配備了電子束源以及化學氣相沈積，或CVD，腔室。電子束源提供了一束電子束，可以用來分解材料。這在蝕刻細膩圖案時特別有用，因為它的精確和細膩的性質。CVD腔室允許將材料沈積到所選擇的基板上。這在半導體工業中需要精確的層來形成器件時很有用。TOKYO ELECTRON Formula由數位控制設備（DCS）控制。該系統允許操作員對產生幹凈蝕刻結果所需的參數進行編程。這樣的參數包括束電流水平、束大小、電壓、暴露時間、氣體壓力、流量和氣體成分。它還有一個光學發射光譜（OES），幫助監測腔室環境，同時使用掃描電子顯微鏡（SEM）來評估蝕刻結果。使用一系列測試和控制,使公式保持在最佳工作狀態。用於檢查設備的測試包括目視檢查、電壓測量、註入測試以及溫度和真空檢查。然後對機器進行校準，以確保它按照工廠規格運行。TEL/TOKYO ELECTRON Formula是一種用於半導體器件制造的強大蝕刻器/灰化器。該工具提供的精確蝕刻和沈積能力使得能夠制造出精確和幹凈的高質量設備。先進的數字控制資產和廣泛的測試和檢查進一步確保了最佳工作條件和一致的結果。這使得TEL Formula成為最可靠、效率最高的蝕刻器/ashers之一。