二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9300653 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula是一種為基材加工而設計的蝕刻/asher機器。本機采用反應性離子蝕刻（RIE）和化學蒸氣蝕刻（CVD）工藝進行蝕刻等基材工藝。TEL Formula 蝕刻器/asher結合兩種蝕刻技術，達到最大效果。第一種是RIE，使用感應耦合等離子體（ICP）蝕刻基板。ICP是一種高效的蝕刻技術,可以根據所需的特定模式進行定制。RIE技術用於創建諸如溝槽和圓柱的模式。第二種是化學蒸氣蝕刻（CVD），是一種幹蝕刻工藝。這個過程也是高效的，可以量身打造出精確的蝕刻圖案。CVD蝕刻通常用於稀釋層和創建高集成電路的透基通孔（TSV）。TOKYO ELECTRON Formula Etcher/Asher設計為精確控制蝕刻過程。它使用一系列參數來控制諸如壓力、溫度、時間和功率等蝕刻過程。這允許精確蝕刻和更好的過程重復性。為了材料相容性，Formula 蝕刻器/asher可以與矽、石英等多種基材配合使用。它還可以與氯化物、氟化物、烷烴等一系列前體一起工作。此外，TEL/TOKYO ELECTRON Formula Etcher/asher提供了高度自動化。這種自動化使流程可以在無人值守的情況下以最小的幹預程度執行。自動化過程（如遠程控制和過程計劃）可將處理時間減少50%。總體而言，TEL Formula 蝕刻器/asher是執行蝕刻和其他基材加工任務的可靠而精確的系統。它提供了一系列蝕刻技術、高度自動化以及與各種基材和前體的兼容性。這使得它成為蝕刻和其他基材工藝的熱門選擇。