二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9313096 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Formula是一種高級蝕刻/asher設備,用於照片面罩的直接寫入和蝕刻等應用。該系統具有高精度的多級蝕刻和灰化工藝,可提供卓越而一致的電氣、熱和機械性能。蝕刻/Asher設備的主要部件包括Etch/Asher頭、RF源、電源、轉接架、踢腳板、樣品架、石英板和預組裝。Etch/Asher頭由用於控制溫度的蒸發器和加熱元件以及在蝕刻過程中移動零件的機械裝置組成。射頻源用於提供驅動蝕刻過程所需的能量。電源負責向蝕刻/灰頭提供必要的能量。轉印架是一個裝有待蝕刻零件的容器,而踢腳板則是用來將蝕刻溶液傳遞到零件上。樣品支架是一種有助於控制零件在蝕刻/灰化器上的位置的工具。石英板用於在蝕刻敏感零件時提供額外的支撐。最後,預裝配用於在開始實際蝕刻過程之前測試任何零件。蝕刻/asher設備還包括多階段蝕刻工藝,提供優越一致的電氣、熱和機械性能。此過程涉及在零件上應用幾種不同的蝕刻和灰化解決方案,以獲得所需的結果。通過這一過程,蝕刻過程中可能發生的任何汙染或顛簸都可以消除或顯著減少。TEL Formula設計用於多種基材,包括金屬、氧化物、塑料、玻璃和其他類型的材料。此外,此設備還能夠蝕刻標準零件和高分辨率零件。TOKYO ELECTRON Formula 蝕刻器/asher單元是一種先進的工具,用於在蝕刻和研磨零件時提供卓越的一致性和精度。這臺機器利用了多階段蝕刻工藝,需要最少的用戶維護,使其成為許多應用的有用和方便的工具。
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