二手 TEL / TOKYO ELECTRON HS-800-I #9285730 待售

TEL / TOKYO ELECTRON HS-800-I
ID: 9285730
Dry etchers Substrate size: 680 mm x 880 mm.
TEL/TOKYO ELECTRON HS-800-I是一款先進的半自動蝕刻器/asher,專為蝕刻銅、鎢、鋁、金、不銹鋼等薄膜建築材料而設計。該蝕刻器提供出色的過程控制和更高的吞吐量。它提供高精度和一流的蝕刻質量。該蝕刻器帶有一個操作員友好的顯示面板,可方便地訪問所有工藝參數。此外,該設備還配備了自動清洗機構,以減少過度蝕刻和汙染。蝕刻器還配備了用於蝕刻小細節圖案和特點的大功率激光系統。它能夠在軸向、徑向和XY平面三個不同方向進行蝕刻。TEL HS-800-I采用氣體混合蝕刻技術,具有混合不同氣體混合物的能力,以優化每種薄膜材料的工藝參數。該蝕刻器還具有集成電源,可進行精確的激光輸出調整和工藝調整。TOKYO ELECTRON HS-800-I還設計有高精度聚焦光學器件和精確的舞臺運動控制。這可以實現準確和可重復的定位,並克服了手動對準和校準的需要。此外,該單元還提供動態溫度控制,有助於保持均勻的蝕刻輪廓。HS-800-I配備了直觀的人機界面,提供清晰的操作員指導和自動化的過程控制。直觀的命令、顯示和反饋允許簡單的進程初始化和操作。此外,機器還配備了安全聯鎖裝置,以防止過度的高功率激光曝光。總之,TEL/TOKYO ELECTRON HS-800-I是一款先進的半自動蝕刻器,提供高精度和一流的蝕刻質量。它配備了強大的激光光學元件和高精尖的運動控制、操作參數和動態溫度控制。TEL HS-800-I是一種用於蝕刻薄膜建築材料的可靠、高性能的工具,是工程師和實驗室工作人員的理想工具。
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