二手 TEL / TOKYO ELECTRON HT-800-P2 #9285736 待售

TEL/TOKYO ELECTRON HT-800-P2是一種適合各種晶圓處理需求的高精度直列蝕刻/asher設備。該系統采用低壓蝕刻室，能夠在大面積基板上實現極均勻的蝕刻和灰化，精度高，可重復性高。TEL HT-800-P2單元將用於蝕刻和灰化的大功率ECR等離子體源與多個排氣惰性氣體通過集成閥集成在同一腔室中。集成幹式真空泵可以快速排出化學氣體。蝕刻器/灰化器機器在廣泛的應用中提供了準確的過程，包括晶圓背面清潔、蝕刻、退火和薄膜灰化。該工具還具有從10mT到1000mT的廣泛工作壓力,包括超低壓真空和低壓過程,允許進行廣泛的蝕刻和灰化過程。其集成的高功率電源還能夠對基板電壓進行精確控制，從而在各種基板類型上實現精密蝕刻的高蝕刻選擇性。該資產還具有精確的高性能基板卡盤，用於精確和可重復的晶圓定位和拆卸。TOKYO ELECTRON HT-800-P2模型除了具有多用途的加工能力外,還具有先進的安全性和性能保障。集成的雙區域安全互鎖設備可快速檢測故障情況,並在發生這種情況時關閉等離子體源,包括在冷卻操作期間。設計了可靠的快速反應系統，以確保緊急情況下的安全運行，並使設備處於最佳狀態。HT-800-P2 蝕刻器/asher機器是一種可靠且通用的結果驅動過程工具,可滿足各種微加工需求。其精確的過程控制和高效的安全工具確保了在最苛刻的條件下的最佳性能和最高的可靠性。該資產還與其他工具高度兼容，以進一步提高其流程的多功能性和成本效益。