二手 TEL / TOKYO ELECTRON HT-800-P4 #9285738 待售

TEL/TOKYO ELECTRON HT-800-P4是為半導體器件制造行業設計的高端蝕刻和灰化半導體加工設備。TEL HT-800-P4旨在利用高級數字控制提供世界級的精度和準確性。該系統采用了以「熱端」和「冷端」泵為基礎的真空技術，允許快速、方便地更改過程，不會損失精度。「熱端」泵能在一個周期內對高達4X4英寸的基板進行微調蝕刻和灰化。此外,TOKYO ELECTRON HT-800-P4還采用了一種專有的氧摻雜技術,以增強精密控制。該單元的硬件控制平臺還包括可重復、準確處理的自緊卡盤機構。自擰緊卡盤確保了可靠和可重復的結果，這對於生產應用尤其重要。HT-800-P4用途廣泛，可配置用於各種基材尺寸、材料和工藝。它能夠蝕刻和灰化多達20種不同的材料，包括矽、玻璃、塑料和金屬。此外,機器還可以容納12英寸大小的基板。TEL/TOKYO ELECTRON HT-800-P4配有確保加熱和冷卻一致的多區樣品板。板塊有六個溫帶，每個溫帶都有獨立的溫度控制能力。由於其特點,TEL HT-800-P4可以重現配方並實現批對批一致性。此外,它還具有多語言控制功能,使工程師能夠快速、準確地對其處理配方進行編程。這樣可以確保蝕刻和灰化過程的最大一致性和可重復性。TOKYO ELECTRON HT-800-P4具有廣泛的加工能力,非常適合用於制造先進的半導體器件。其高精度和可重復性,加上易用性,使其成為生產和開發應用程序的首選。此外,該工具的多功能功能也使其成為研發的絕佳選擇。