二手 TEL / TOKYO ELECTRON HT-800-R4 #9285739 待售

TEL/TOKYO ELECTRON HT-800-R4是一種高精度、高通量的蝕刻/加工機器，設計用於半導體元件的大批量制造。該機器有兩個加工室和一個用於蝕刻/沈積和晶圓處理的機器人臂。工藝室配備了種類繁多的蝕刻/加工室，每個室都有自己獨特的能力，包括電子束蒸發、高密度等離子體蝕刻、離子植入、化學等離子體沈積和濺射。機器人臂可以被編程為處理加工室內的晶圓運動，使其對大規模、大體積的加工效率高。這臺機器具有可變吞吐量,每小時最多可處理50個晶圓.它采用三層監測系統，監測工藝室內的溫度和壓力，以及沈積/蝕刻速率，確保準確和一致的結果。此外，它還有一個優化註入氣體的光冷系統。該機器由一個電源供電,該電源可提供高達500瓦的功率。此外,它還通過GUI用戶界面和增強的程序指令降低了軟件的復雜性,從而減少了對編程的需求。TEL HT-800-R4 蝕刻器/asher專為高精度、高吞吐量的過程而設計,具有低維護成本和最小停機時間的特點。其穩健的整體設計使其適合於半導體制造的廣泛應用，其靈活性使其在大批量生產運行中表現出色。