二手 TEL / TOKYO ELECTRON HT910 #293621624 待售

TEL/TOKYO ELECTRON HT910是一種高通量的蝕刻器/asher，設計用於高精度蝕刻和灰化。TEL HT910在200W進行蝕刻，最多500W次進行灰化，其真空室為48升，可加工較大的基板。TOKYO ELECTRON HT910的過程氣體混合器可以在給定的範圍內精確控制多達四種氣體，不需要購買多個單元。HT910的設置也很簡單。用戶界面允許完全控制蝕刻和灰化過程，包括過程參數、溫度監測和大氣控制。TEL/TOKYO ELECTRON HT910的設計具有自動清潔功能,無需手動清潔即可自動完成清潔過程。此功能通過延長腔室壽命和消除與清潔相關的人為錯誤來提高工藝可靠性。TEL HT910還擁有一個達到低廢氣純度水平的中壓減壓設備，這使其能夠滿足《清潔空氣法》的排放要求。TOKYO ELECTRON HT910在蝕刻和灰化方面具有極好的重復性和可靠性。系統采用平行光波輻射，以確保蝕刻過程的均勻性。HT910也能加工不同厚度的基材，結果相似。這使得它非常適合工業環境。安全方面，TEL/TOKYO ELECTRON HT910配備了全方位的安全功能，包括氣體凈化單元、排氣罩和閉環氣體感應機。閉環氣體傳感器工具檢測有害氣體並激活排氣罩以提供額外保護。這樣可以確保環境對用戶和正在處理的基板都是安全的。TEL HT910 蝕刻器/asher是為高精度蝕刻和粉刷基板而設計的。它具有較高的吞吐量，具有較大的真空室，可用於較大的基板加工，並具有提高工藝可靠性的自清特性。TOKYO ELECTRON HT910還提供了出色的重復性和可靠的效果,並提供了一系列的安全功能。