二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #293587758 待售

ID: 293587758
優質的: 2007
Vertical furnace 2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L是一種蝕刻器,或稱asher,用於底物蝕刻、升空和金屬化應用。TEL Indy-A-L基於先進的高通量低溫蝕刻技術。與許多傳統蝕刻技術相比,此技術可實現高蝕刻選擇性、優越的長寬比、改進的粘合強度和均勻的層覆蓋。TOKYO ELECTRON Indy-A-L配備了先進的光學器件,包括高分辨率CCD相機、渦輪真空泵以及提供最佳可控處理條件的等離子源。這種光學和光源的組合使蝕刻和/或金屬化任務的過程控制和可變性得到加強。Indy-A-L可以加工尺寸高達8 「x 6」的基板,這使得它非常適合大型、多點制造應用。該系統能夠處理廣泛的材料,如銅、金、鋁、鈦等多種金屬。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L還具有高效率的設計和超低溫腔室,以優化溫度臨界蝕刻和金屬化工藝。此外,該單元還配備了多段磁化器,可提供多種提升和塗層技術,包括旋轉塗層、噴塗塗層和電鍍。TEL Indy-A-L帶有幾個安全特性,包括一個自動濕式工作臺和燃燒室。借助TOKYO ELECTRON Indy-A-L高級蝕刻器/asher,用戶可以以最少的輸入和配置享受高級蝕刻功能。其表面處理和金屬化能力為各種任務提供了更好的層覆蓋和均勻性,包括半導體器件制造、MEMS制造、LED制造,甚至更先進的工藝。它的多功能性和準確的過程控制使其成為各種工業應用的理想解決方案。
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