二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #293622226 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L是用於半導體器件制造的先進蝕刻設備。這種精密的系統旨在快速、有效地蝕刻各種材料，而且汙染物極少。TEL Indy-A-L具有三階段蝕刻工藝，包括等離子體、反應性離子蝕刻（RIE）和物理氣相沈積（PVD）。第一階段，材料暴露在高能等離子體中。這允許離子穿透材料，留下微觀圖樣蝕刻到它的表面。第二階段，RIE，允許不同的氣體與材料相互作用，導致更復雜的蝕刻。在第三階段,PVD將材料添加到預定的區域,從而實現更高級別的控制和自定義。這種多功能性使得TOKYO ELECTRON Indy-A-L適合一系列的Advanced Packaging和MEMS（微機電系統）工藝。它的占地面積很小-尺寸僅為75厘米x 105厘米（寬度x深度）,因此可以在任何現有生產線中放入指定區域。該設備還具有低熱預算設計，這意味著其溫度在運行過程中保持在較低水平。Indy-A-L還具有專用的邊緣收費控制（ETC）機器,可在零件邊緣進行精確蝕刻。該工具還配備了上臂機器人護臂和離子束源，兩者都確保過程安全進行。最後，TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L與多種分析工具兼容，包括SEM（掃描電子顯微鏡）和XPS（X射線光電子光譜）。這樣可以方便準確地測量蝕刻在材料上的特征。總之,TEL Indy-A-L是一種精密的蝕刻資產,具有多種功能,非常適合半導體器件制造行業使用。它設計多種多樣,占用空間小,而且具有先進的分析工具,因此對於希望以高精度生產高質量元件的公司來說,它是一個非常寶貴的工具。
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