二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #293643254 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L etcher/asher是半導體製造過程中的一種專用裝置，從矽晶片中除去不想要的氧化物和多矽層。這一過程使得晶體管和其他半導體器件的制造成為可能。TEL Indy-A-L機器設計為在小晶圓尺度上進行高效的RIE（反應性離子蝕刻）和灰化。它具有多頻射頻（RF）發生器，有助於產生高達150毫米晶圓大小的高效處理。RIE過程通過分解晶片表面上的原子並生成電離的等離子體羽流來清除晶片中不需要的材料層,該等離子體羽流以最小的損傷快速準確地去除表面。TOKYO ELECTRON Indy-A-L也有獨立加熱元件的多室設計，可以配置為最佳地處理需要不同加工溫度和化學材料比的晶圓。此外，該機兼備加速化學灰化工藝和集成幹蝕氣體輸送系統，可實現不同角度的蝕刻角度和由此產生的深度。此外，Indy-A-L設計具有智能自動匹配能力，自動調整射頻頻率和能量以獲得最佳效果。它還具有多級等離子體深度控制功能，允許在一次操作中完成多次蝕刻過程以精確。這包括背面離子源特性，可用於去除或蝕刻背面塗層。這些特性為各種半導體應用提供了高效可靠的蝕刻工藝。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L 蝕刻器/asher是制造半導體器件結構的可靠、高效、準確的器件。
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