二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #293643265 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L是一種創新的半導體器件蝕刻器/asher。這款多合一設備將蝕刻和灰化功能整合到一個緊湊的單元中。TEL Indy-A-L除了體積小巧外,還提供精確控制、出色的系統性能和強大的安全功能。TOKYO ELECTRON Indy-A-L支持熱氧化物蝕刻、氧化物圖樣蝕刻和氧化物面膜剝離，以及退火、燒結和回流。它可以容納三組尺寸不超過6英寸的基板。此外,其先進的工藝控制功能還允許優化蝕刻和灰化性能。Indy-A-L在功能強大的基於Windows的HMI軟件上運行,該軟件具有大型、用戶友好的觸摸屏和易於進行的過程導航。它還提供自動化、集成的過程控制和配方管理功能,以實現簡單、一致的操作。其直觀的菜單單元提供了對其所有蝕刻和灰化過程的完全控制。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L也擁有令人印象深刻的安全特性陣列。利用其內置的安全機器，可以監控其工藝條件的穩定性，防止任何危險工藝出現問題。它的多重安全聯鎖進一步保護了工具附近的人員和機器。總體而言,TEL Indy-A-L在小巧、用戶友好的軟件包中提供了可靠的蝕刻和灰化解決方案。它具有先進的硬件、HMI軟件和強大的安全特性,是半導體器件制造和基板蝕刻/灰化解決方案的理想選擇。