二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #293643266 待售

ID: 293643266
優質的: 2007
Vertical furnace 2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L是一種高度先進的蝕刻/灰化設備,設計用於半導體器件制造。作為業界領先的蝕刻解決方案提供商之一,TEL Indy-A-L提供卓越的可靠性、性能和創新技術,以滿足當今半導體制造工藝的需求。TOKYO ELECTRON Indy-A-L系統結合了全自動、高分辨率、多步蝕刻工藝,以促進高效準確的操作。Indy-A-L單元能夠蝕刻多種材料,包括光刻膠和介電層,並且可以很容易地編程,以適應單個工藝所需的精確參數。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L機器使用具有高分辨率控制能力的專有等離子體工具,以確保最佳蝕刻結果。該資產能夠以精確和統一的結果執行大量蝕刻步驟,使用多達8個階段進行深度蝕刻。它還采用了低成本、低維護的等離子體源,旨在降低運營成本並提供最佳蝕刻效率。TEL Indy-A-L模型的設計考慮到了準確性和可靠性,具有自動配方管理、設備診斷以及高級配方加載和恢復功能。此外,該系統設計為模塊化和靈活的,便於根據需要進行升級和定制。TOKYO ELECTRON Indy-A-L單元附帶了配方管理和靈活性的高級軟件,其中包括易於使用的模式插值、步驟插值和錯誤恢復。此軟件允許用戶輕松配置計算機以滿足其特定的流程要求,同時幫助防止可能出現的錯誤或錯誤步驟。Indy-A-L支持一系列令人印象深刻的工藝選項,包括標準濕蝕刻、幹蝕刻、電鍍、抗稀釋和退火。此外,該工具可以適應接觸蝕刻、深反應性離子蝕刻、深濕蝕刻等工藝,使其成為復雜制造工藝的理想解決方案。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L是一種強大可靠的資產,為半導體器件制造中的蝕刻和灰化應用提供了優異的效果。憑借其高性能和高級功能,TEL Indy-A-L是一款領先的蝕刻解決方案,有助於提高整個制造過程的效率和可靠性。
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