二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #9394967 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L蝕刻器是一種自動化的、完全集成的薄膜沈積和蝕刻設備。設計用於生產矽基半導體產品。該系統在精密蝕刻過程中具有均勻性和可重復性。它具有低溫和真空環境，以提高蝕刻的質量和密度。該裝置采用自動卡盤壓力調節器，以確保每個蝕刻過程在選定的基板溫度和壓力下傳遞。它還配備了隔膜泵，以確保蝕刻過程中的真空是恒定的。這有助於確保電路板的完整性並增強最終用戶體驗。TEL Indy-A-L蝕刻器還設有大氣壓力控制機，有助於提高蝕刻速率，在蝕刻過程中保持平衡壓力。這有助於減少在加工過程中損壞基材或蝕刻的機會。蝕刻機進一步具有主動漂移補償、動態熱調節、智能壓力和速度控制等特點，均有助於優化提高蝕刻工藝精度。TOKYO ELECTRON Indy-A-L蝕刻器配備了創新的直接成像選擇器（DIS），用於選擇所需的蝕刻圖樣。它還設計用於與過程控制系統集成,例如TEL Industrial Solutions Manager （ISM）。這有助於對蝕刻過程進行實時監測，並確保其達到預期的結果。蝕刻器還具有一系列可選組件,如晶圓處理單元、氣象密封件和射頻密封件。所有這些組件都增加了工具的靈活性,並允許將其用於更多的應用程序。總之，Indy-A-L蝕刻器是一種完全集成的薄膜沈積蝕刻資產，具有極好的精度、重復性和可靠性。它配備了創新的直接成像選擇器（DIS）和大氣壓力控制系統，使蝕刻過程的準確性和有效性得到提高。可選組件增加了靈活性,使模型可用於更廣泛的應用程序。