二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #9411635 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L是一種為了處理半導體底物而設計的蝕刻器/asher。它具有大量的特性，使其適合廣泛的應用中使用。TEL Indy-A-L具有RIE（反應性離子蝕刻）工藝,能夠將特征蝕刻到0.3 μ m,最大蝕刻速率為8,000nm/min。這種蝕刻工藝能夠提供高精度的結果，並且有能力蝕刻矽、氮化零和摻氧矽等多種材料。它還具有獨特的「傾斜」蝕刻模式,允許更高的長寬比。TOKYO ELECTRON Indy-A-L還包括一臺車載高級掃描儀，包括自動對焦設備和功能強大的晶圓背面顯示器。該監視器允許對晶片表面和背面進行高分辨率成像,從而使蝕刻過程與基板上的圖案化層精確對齊。Indy-A-L還可以與各種外部檢查系統集成，進一步提高工藝的準確性和可重復性。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L具有高流量氣體輸送系統,具有令人印象深刻的氣體控制靈活性,允許更多的蝕刻循環和配方。氣體輸送單元的最大流量為65 SCCM，使其能夠快速處理大型基板。射流前進模塊還通過迫使氣體向外和遠離晶片來防止氣體進入腔室。TEL Indy-A-L具有強大的用戶界面,允許輕松設置流程參數和更改配方。用戶界面還提供蝕刻參數的實時監控，以及配方存儲和召回。板載數據捕獲和分析工具提供了數據的可追蹤性，而板載SEM（掃描電子顯微鏡）圖像和CD（臨界維度）圖表則便於過程和性能評估。TOKYO ELECTRON Indy-A-L是一款先進且用途廣泛的蝕刻器/asher機器,能夠創建復雜的圖樣並提供精細的細節。其強大且易於調節的蝕刻功能使其適合廣泛的應用和材料，而其功能豐富的用戶界面和監控功能則確保了對過程的理解和嚴格控制。