二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #293591335 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A是一款高性能的蝕刻器/asher設備，旨在滿足最先進的半導體技術應用的要求。該系統的可自定義平臺提供了一套工藝功能，主要包括幹式蝕刻、幹式灰泥和濕式清潔。它非常適合各種應用,包括銅金屬化的中間蝕刻、生產線後端加工、高級包裝等。TEL Indy-A單元采用下遊型蝕刻配置,主腔室由氣候控制,以確保過程條件一致。它采用一系列電源選項設計,包括RF、DC和脈沖,使其能夠滿足各種參數的工藝要求。它還為配方優化和流程實施提供了高度的靈活性。TOKYO ELECTRON INDY A配備了可從主室側面展開的多氣源，並提供可變流量、多個遠程膠囊和歧管選擇等定制氣體輸送選項。這種組合產生了無與倫比的一致性和可重復性的高分辨率蝕刻過程。TEL INDY A包含一系列高級流程監控和安全功能,以確保按照優化配置文件運行。這包括先進的倒置過程配置，允許觀察者快速診斷血漿生成機制，並對蝕刻室中可能出現的任何問題提供快速、更準確的診斷。此外，該機還具有最先進的實時傳感器反饋控制機制，可對蝕刻速率、氧氣濃度和溫度等蝕刻控制參數進行高度精確的監控。Indy-A提供自動化選項,以確保在產品制造中具有更大的靈活性、準確性和速度。該工具還配備了專門的清潔資產，允許高水平的表面清潔。INDY A非常適合大批量生產,為用戶提供卓越的生產效率和可靠性。