二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #293591336 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A是一種在半導體製造光刻階段使用的蝕刻機。具體來說,TEL Indy-A用於通過蝕刻表面的一部分將詳細的圖樣傳遞到基材上。TOKYO ELECTRON INDY A可從TEL R&D Tokyo獲得,TEL R&D Tokyo是一家著名的半導體加工設備供應商。蝕刻設備以小尺寸提供高效、長期的生產能力。這使得該系統成為空間有限的半導體制造廠的理想解決方案。該單元還與多種基材兼容，包括六英寸、八英寸和十二英寸晶圓。這種多功能性使得多級互連、光掩碼、MEMS和其他復雜的微加工過程等應用程序能夠以更高的精度完成。TEL INDY A利用Dry Etch （DE）技術，允許蝕刻更復雜的圖案。該工藝利用化學氣相沈積（CVD）和化學機械拋光（CMP）進行預處理，以便在蝕刻之前制備和形成基材。這些預處理和後蝕刻工藝改善了附著力、平面化和表面光潔度。Indy-A的核心是它能夠快速準確地蝕刻（擦洗）連續層。利用偏置電壓加速蝕刻過程，以便以受控和可重復的方式最大化蝕刻速率。這樣可以確保每個晶片每次都有統一和可預測的特征蝕刻。INDY A還配備了先進的安全功能，如供氣按鈕、油箱泄漏檢測器、壓力調節器和氣閘傳感器。這些特性確保所有廢水都能安全地得到控制，最大限度地減少汙染。TEL/TOKYO ELECTRON INDY A是一款可靠、高品質的蝕刻機，提供兩全其美：當今的尖端技術，加上歷史工藝的精確度和可重復性。它是任何希望擴大生產效率的半導體制造公司的理想工具。