二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #9214145 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A是一款專門為半導體晶片的精確、高效和可靠處理而設計的蝕刻器/asher。TEL Indy-A蝕刻器具有高精度和可重復性,非常適合用於各種高級生產應用。最先進的工具具有先進的過程控制技術,具有角對角邊緣定義、邊緣追逐和檢測功能以及高通量等離子體蝕刻技術。TOKYO ELECTRON INDY A配備了自動化的負載鎖交換，導致汙染最小，吞吐量提高。此外,它的低kV工藝窗口提供了快速蝕刻速率以及改進的外延層蝕刻速率。使用局部氧化矽（LOCOS）工藝，TOKYO ELECTRON Indy-A可以選擇性蝕刻一層薄而均勻的絕緣層，意味著只有預定的區域暴露在蝕刻過程中。這種選擇性蝕刻技術對於產生高度精確、非常精確的電子電路至關重要。支持LOCOS過程的有一系列功能,包括高級氧化控制技術（ACT）、高度先進的邊緣定義功能、拐角保護和可定制的軟件配方。憑借先進的自動化優勢，INDY A具有快速、準確地蝕刻和清洗晶片的能力，結果的效率和均勻性無與倫比。TEL/TOKYO ELECTRON INDY A極精確且均勻，在整個晶圓表面的重復性<5%。它提供了各種各樣的過程功能,從而獲得了優異的效果。Indy-A還具有先進的Web表征系統（WCS）,允許客戶輕松管理多個處理配方,從而提高產量並提高流程效率。此外，TEL INDY A配備了先進的流程監控、控制和反饋能力，實時向用戶反饋數據。此信息允許操作員對過程進行實時調整，確保最終產品達到最高質量標準。